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按照煙氣的特性以及煙氣中污染物的不同性質，一般鍋爐及工業窯爐的廢氣處理系統有以下幾種順序：
1、除塵（采用電除塵或者袋除塵）——脫硝——脫硫——除塵（濕式除塵）；
2、脫硝——除塵——脫硫；
3、除塵——脫硝，脫硫。
以上幾種形式為典型的廢氣處理流程，實際上針對不同的煙氣，有著具體的處理流程，沒有固定的格式。以上三種形式，各工段都是采用目前常用的工藝。如脫硝，采用SCR；脫硫采用濕法噴淋塔。
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